晶瑞股份:关于购买光刻机设备进展情况的公告

证券代码：300655      证券简称：晶瑞股份      公告编号：2021-002

债券代码：123031      债券简称：晶瑞转债

              苏州晶瑞化学股份有限公司

          关于购买光刻机设备进展情况的公告

    本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

    一、购买设备情况概述

    苏州晶瑞化学股份有限公司（以下简称“公司”）于 2020 年 9 月 28 日召
开了第二届董事会第二十八会议，审议通过了《关于购买设备的议案》，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过 Singtest TechnologyPTE. LTD.进口
ASML 光刻机设备。具体内容详见公司于 2020 年 9 月 29 日及 2020 年 10 月 9
日 在 中 国 证 监 会 指 定 的 创 业 板 信 息 披 露 网 站 巨 潮 资 讯 网
（http://www.cninfo.com.cn）披露的相关公告。

    自公司开展设备采购活动以来，受到投资者广泛密切关注。经公司多方协商、
积极运作，顺利购得 ASMLXT 1900 Gi 型光刻机一台。该设备于 2021 年 1 月 19
日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

    二、购买设备的背景

    目前高端集成电路材料的核心产业化技术仍掌握在国外企业手中，大部分市场份额仍被外企所占据，不少集成电路用关键材料已经成为我国“卡脖子”的技术领域，在国际环境日益严峻的情况下，如不能成功实现该领域的国产化，未来将付出更大的代价。公司量产光刻胶近 30 年，组建了国内领先的光刻胶研发团队，具有丰富的光刻胶研发和生产经验，先后承担了国家“85”攻关、“863”重大专项、科技部创新基金等科技项目、承担了国家 02 重大专项“i 线光刻胶产品开发及产业化”项目，并顺利通过国家 02 重大专项验收。公司完成中试的 KrF
光刻胶已进入客户测试阶段，达到 0.15μm的分辨率。本次购买的 ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的 ArF 光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到 ArF 光刻胶的跨越，并最终实现应用于 12 英寸芯片制造的战略布局。
    三、设备的基本情况

    公司采购的光刻机设备为 ASMLXT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻机，可用于
研发最高分辨率达 28nm的高端光刻胶。

    四、对公司的影响

    本次公司采购的 ASML 光刻机设备的顺利交付，可以保障公司集成电路制
造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性，对加快产品研发项目进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，有助于落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。

    五、风险提示

    1、本次购买的光刻机尚须经过装机、调试及投入相关配套设施，若以上环节出现工作疏漏或失误则存在造成所购买的光刻机投入使用的过程较长甚至无法投入使用的风险。

    2、公司研发项目经历时间较长，且至产业化并最终实现销售产生利润仍需一定时间，本次购买的光刻机设备价格昂贵，其折旧及后续维护费用预计对公司的经营业绩存在一定影响。

    敬请投资者注意投资风险。

    特此公告。

                                            苏州晶瑞化学股份有限公司
                                                              董事会
                                                      2021 年 1 月 19 日