公司代码：603690 公司简称：至纯科技
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2024 年年度报告
重要提示
一、本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
二、公司全体董事出席董事会会议。
三、众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
四、公司负责人蒋渊、主管会计工作负责人丁炯及会计机构负责人（会计主管人员）丁炯声明：保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
五、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
公司拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，向全体股东每10股派发现金红利0.5元（含税）。截至本报告披露日，公司总股本383,644,650股（其中公司回购账户3,343,941股不参与利润分配），合计拟派发现金红利19,015,035.45元（含税），占归属于上市公司股东的净利润比例为80.58%。
如在本报告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股、回购股份、股权激励授予股份回购注销、重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分红比例，并将在相关公告中披露。
六、前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本报告中所涉及的未来计划、发展战略等前瞻性描述不构成对投资者的实质承诺，敬请投资者注意投资风险。
七、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况
否
八、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况
否
九、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性
否
十、重大风险提示
报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在本报告中详细描述可能面对的相关风险，敬请查阅“第三节 管理层讨论与分析”之“六、公司关于公司未来发展的讨论与分析”之“（四）可能面对的风险”相关内容。
十一、 其他
√适用 □不适用
审计委员会认真审阅了 2024 年年度报告，认为：公司 2024 年财务会计报告和 2024 年年度报
告中财务信息，能够真实、准确、完整地反映公司 2024 年度的财务状况，不存在与财务报告相关的欺诈、舞弊行为以及重大错报的情况，不存在重大会计差错调整、重大会计政策及重大会计估计变更、涉及重要会计判断的事项、导致非标准无保留意见报告的事项。
目录
第一节 释义...... 9
第二节 公司简介和主要财务指标......12
第三节 管理层讨论与分析......16
第四节 公司治理......42
第五节 环境与社会责任......59
第六节 重要事项......61
第七节 股份变动及股东情况......79
第八节 优先股相关情况......87
第九节 债券相关情况......88
第十节 财务报告......89
一、载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主
管人员）签名并盖章的财务报表；
备查文件目录 二、载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件；
三、报告期内在中国证监会指定网站上公开披露过的所有公司文件的正
本及公告的原稿。
第一节 释义
在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：
常用词语释义
公司、本公司、至纯科技 指 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
证监会 指 中国证券监督管理委员会
上交所 指 上海证券交易所
报告期 指 2024 年 1 月 1 日至 2024 年 12 月 31 日
上年、去年、同期 指 2023 年 1 月 1 日至 2023 年 12 月 31 日
元、万元、亿元 指 人民币元、人民币万元、人民币亿元，法定流通货币
尚纯投资 指 共青城尚纯科技产业投资合伙企业（有限合伙）
平湖波威 指 平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）
青岛海丝民合 指 青岛海丝民合半导体投资中心（有限合伙）
至微半导体 指 至微半导体（上海）有限公司
波汇科技 指 上海波汇科技有限公司
江苏启微 指 江苏启微半导体设备有限公司
珐成制药 指 珐成制药系统工程（上海）有限公司
波汇信息 指 上海波汇信息科技有限公司
中芯国际 指 中芯国际集成电路制造有限公司（688347.SH、00981.HK）
华虹公司 指 华虹半导体有限公司（688981.SH、01347.HK）
上海华力 指 上海华力集成电路制造有限公司
长江存储 指 长江存储科技有限责任公司
长鑫科技 指 长鑫科技集团股份有限公司
北电集成 指 北京电控集成电路制造有限责任公司
润鹏半导体 指 润鹏半导体（深圳）有限公司
士兰微 指 杭州士兰微电子股份有限公司（600460.SH）
燕东微 指 北京燕东微电子股份有限公司（688172.SH）
华润微 指 华润微电子有限公司（688396.SH）
新凯来 指 深圳市新凯来技术有限公司
SEMI 指 Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设
备与材料产业协会
Gartner 指 Gartner Group（加特纳，纽约证券交易所证券代码 IT.N），一家
信息技术研究和分析的公司
WSTS 指 世界半导体贸易统计协会（WSTS）
DRAM 指 动态随机存取存储器，是一种利用电容内存储电荷的多寡来代表
二进制数据的半导体存储器
High Bandwidth Memory，是一种基于 3D 堆栈工艺的高性能
DRAM（动态随机存取存储器），通过在垂直方向上堆叠多个
HBM 指 DRAM 芯片，并结合先进的封装技术，实现高带宽、高容量和低
功耗的特性。 HBM 被广泛应用于高性能计算、人工智能和图形
处理等领域，是当前 GPU 存储单元的理想解决方案
Fin FET 指 Fin Field-Effect Transistor 鳍式晶体管，是一种 3D 晶体管技术，相
比传统晶体管有更好的电性能和更低的功耗
FIN ETCH 指 Fin 蚀刻工艺，是制造 Fin FET 的关键步骤之一，它涉及到在硅片
上蚀刻出垂直的鳍状结构
FIN ETCH CLEAN 指 半导体工艺中的一种处理步骤，具体包括 Fin 蚀刻和清洁过程
在 FinFET 制造过程中涉及的一系列工艺步骤，这些步骤共同定义
FINFET LOOP 指 了 Fin 的结构和基本形状，确保 Fin 的结构精确且符合设计要求，
从而影响晶体管的性能和可靠性
HBZ chuck 指 heater by zone chuck 的缩写，按区域可控加热 chuck， 是一种专为
先进制程设计的晶圆夹持装置
DNS 指 SCREEN Holdings Co.,Ltd.
东京电子 TEL 指 TOKYO ELECTRON LTD.
Lam Research 指 LAM RESEARCH CORPORATION
北方华创 指 北方华创科技集团股份有限公司（002771.SZ）
芯源微 指 沈阳芯源微电子设备股份有限公司（688037.SH）
盛美上海 指 盛美半导体设备（上海）股份有限公司（688082.SH）
法液空/液化空气 指 法国液化空气集团
林德/林德气体 指 德国林德集团
东横 指 东横化学株式会社
冠礼 指 苏州冠礼科技有限公司，是台湾圣晖旗下朋亿股份在苏州高新区
设立的独资子公司，是一家生产制程供应系统企业
VERSUM 指 慧盛材料股份有限公司，总部位于美国，是一家电子化工材料公
司
广钢气体 指 广州广钢气体能源股份有限公司（688548.SH）
金宏气体 指 金宏气体股份有限公司（688106.SH）
杭氧股份 指 杭氧集团股份有限公司（002430.SZ）
无锡正海 指 无锡正海联云创业投资合伙企业（有限合伙）
昆山分享 指 昆山分享股权投资企业（有限合伙）
高纯工艺 指 泛半导体（集成电路、平板显示、光伏、LED 等）、生物制药等
先进制造业的产品生产工艺中以不纯物控制技术为核心的工艺
电子大宗气体 指 电子行业工厂大规模生产和制造工艺的关键材料，主要包括氮气、
氦气、氢气、氩气、氧气、二氧化碳等
清洗 指 贯穿半导体制造的重
