证券代码：301297 证券简称：富乐德 公告编号：2025-013
安徽富乐德科技发展股份有限公司 2024 年年度报告摘要一、重要提示
本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到证监会指
定媒体仔细阅读年度报告全文。
所有董事均已出席了审议本报告的董事会会议。
天健会计师事务所（特殊普通合伙）对本年度公司财务报告的审计意见为：标准的无保留意见。
本报告期会计师事务所变更情况：无变更。
非标准审计意见提示
□适用 ？不适用
公司上市时未盈利且目前未实现盈利
□适用 ？不适用
董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
？适用 □不适用
公司经本次董事会审议通过的利润分配预案为：以 338,390,000 为基数，向全体股东每 10 股派发现金红利 1.2 元（含
税），送红股 0 股（含税），以资本公积金向全体股东每 10 股转增 0 股。
董事会决议通过的本报告期优先股利润分配预案
□适用 ？不适用
二、公司基本情况
1、公司简介
股票简称 富乐德 股票代码 301297
股票上市交易所 深圳证券交易所
联系人和联系方式 董事会秘书 证券事务代表
姓名 颜华 李海东
办公地址 安徽省铜陵金桥经济开发区南海路 18 号 安徽省铜陵金桥经济开发区南海路 18 号
传真 0562-5302388 0562-5302388
电话 0562-5302388（2025 年 2 月由 0562- 0562-5302388（2025 年 2 月由 0562-
5316888-8080 变更为 0562-5302388） 5316888-8080 变更为 0562-5302388）
电子信箱 ftsa001@ftvas.com ftsa001@ftvas.com
2、报告期主要业务或产品简介
一、报告期内公司所处行业情况
1、精密洗净服务行业概述
精密洗净服务行业是工业清洗行业的重要分支。精密洗净意味着按照非常严格的标准进行清洗，对清洗标的清洗后剩余颗粒或其他污染物的容忍度非常低（颗粒尺寸小于 0.3 微米），通常在环境严格控制的洁净室进行清洁。目前，精密洗净服务已成为精密生产设备部件组装前的先决条件，也是制程设备的日常保养和维护的先决条件，精密设备部件洗净的质量将直接影响产品生产良率和生产成本。
2、泛半导体设备洗净服务行业发展情况
（1）较长时期发展缓慢且滞后
上世纪八九十年代，国际上半导体工业和显示面板工业快速发展，使产品不断向高精密性、高技术、多种技术手段相结合的方向发展，从而催生出精密洗净在泛半导体设备清洗领域的应用。
我国精密洗净行业起源于上世纪 50 年代，但由于当时国内工业生产水平较低，精密洗净行业发展较为缓慢。上世纪
80 年代，随着中国改革开放和大规模的技术引进，整体工业技术水平不断提高，国内工业生产对精密洗净服务的需求日益加大，但是国内精密洗净行业由于多年停滞发展无法满足市场需求，特别是早期的泛半导体设备精密洗净领域，基本上被国外设备厂商垄断。
（2）成长于国内“缺芯少屏”困局时代
国内泛半导体设备精密洗净服务行业起步较晚，公司前身上海申和（表面处理事业部）作为国内最早从事精密洗净服务的企业之一，于 2000 年正式进入泛半导体设备精密洗净服务领域。国内泛半导体设备精密洗净服务行业伴随着国内半导体和显示面板产业的发展共同成长，它是在国内寻求突破“缺芯少屏”的困局背景下发展起来的。目前我国泛半导体精密洗净服务行业仍处于上升阶段，在技术水平上仍有较大的提升空间。
（3）发展趋势
市场规模增长：精密洗净业务作为保障半导体设备高效、稳定运行的关键环节，得益于国内半导体制造企业不断加大产能投入，以及对设备精密洗净服务的品质和需求同步提升等因素，市场规模预计将保持增长趋势。
技术创新升级：在清洗技术改进方面，物理清洗和化学清洗技术不断优化，新的清洗工艺和设备将不断涌现，以提高清洗效率和质量，降低清洗成本和对环境的影响。在清洗制程进步方面，随着半导体器件集成度提高、芯片工艺节点缩小及器件结构趋于复杂，对洗净精度要求不断提升。
服务拓展延伸：洗净服务企业的业务将由单纯的洗净业务更多地延伸到陶瓷熔射、阳极氧化、维修翻新等附加值较高的服务领域。通过为客户提供包括清洗、检测、维修、翻新等在内的一站式服务，满足客户的多样化需求，提高客户满意度和忠诚度。
3、公司市场地位及行业内主要企业
国内精密洗净服务行业起步较晚，公司是国内最早从事精密洗净服务的企业之一，亦系国内最早实现半导体 PVD 洗
净工艺量产服务的企业之一。凭借先进的技术、丰富的产品线和稳定的服务质量，公司得到国内主流晶圆代工和显示面板制造企业的普遍认可，取得良好的市场口碑。公司是目前中国大陆洗净技术先进、服务范围（洗净标的物品类）广泛的半导体和面板设备洗净服务企业之一，已逐步确立了国内半导体和显示面板设备精密洗净服务领域的领先优势地位。
公司精密洗净服务目前均集中在中国大陆，国内竞争对手主要为湖州科秉电子科技有限公司、南京弘洁半导体科技有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、江苏凯威特斯半导体科技有限公司等。
二、报告期内公司从事的主要业务
公司是一家泛半导体领域设备精密洗净服务提供商，聚焦于半导体和显示面板两大领域，专注于为半导体及显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务，为客户生产设备污染控制提供一体化的洗净再生解决方案，并逐步成为国内泛半导体领域设备洗净技术及洗净范围（洗净标的物品类）领先的服务企业之一。
1、精密洗净服务
（1）半导体设备洗净服务
生产过程中，半导体设备部分零部件表面会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染，为确保生产功效，定期对相关生产设备进行洗净。集成电路制造过程中的氧化/扩散（扩散炉、氧化炉、外延生长设备）、光刻（溶胶显影设备、涂胶设备）、刻蚀（介质、金属、边缘刻蚀设备）、离子注入、薄膜生长（金属沉淀设备、介质层沉积设备、原子层沉积设备、电镀设备）、机械抛光等设备均系公司洗净服务对象，几乎涵盖集成电路 2/3 工序的生产设备定期维护。
公司的洗净技术与客户制程的进步相辅相成，能够参与到客户的研发及制程的升级换代中，通过提供专业的洗净服务，协助客户制程不断提高情况下，生产设备洗净能够直接或者尽可能快速的国产化，降低客户的洗净服务成本。公司半导体设备清洗服务覆盖了大部分中国大陆地区在运营的 6 英寸、8 英寸、12 英寸的晶圆代工产线，与中芯国际、华力集成、华力微电子等国内行业巨头建立了长期稳定的合作关系。
除了半导体生产厂商，公司还与世界主要半导体设备厂商（泛林集团、应用材料、东京电子）开展了合作。除了个别的光刻机设备之外，公司对其他相关的半导体设备零部件均研发并形成了成熟的清洗工艺，并随着半导体生产制程的提升，不断提供相应的洗净服务。
（2）TFT 设备洗净服务
与半导体产品生产类似，TFT 面板生产过程中，其生产设备零部件表面也会被污染，定期对主要生产设备进行洗净
也是 TFT 面板制造的必备环节。
公司 TFT 设备洗净服务是为液晶面板制造企业设备提供定期洗净服务，包含 CF（彩色滤色器）部门（Color Filter）
的 ITO Sputter 薄膜沉积设备，Array 部门的 PVD Sputter 薄膜沉积设备、CVD 薄膜沉积设备，干刻（Dry Etch）部门的
干刻刻蚀设备等液晶面板制造企业核心设备的洗净服务。
公司 TFT 设备洗净服务覆盖了 G4.5/G5/G5.5/G6/G8.5/G8.6/G10.5 代次的全阶段沉积和刻蚀等设备，涉及设备腔体
挡板、玻璃运载装置、Mask 等约 1,500 款零部件产品的清洗服务。
（3）OLED 设备洗净服务
公司 OLED 洗净服务是为 OLED 面板制造企业的易污染主要设备提供定期洗净服务，主要包含蒸镀部门的蒸镀机设备、
IMP 部门的离子注入设备等核心设备。
公司 OLED 设备洗净服务覆盖了硅基微显示蒸镀设备及 G4.5/G5.5/G6 代次的蒸镀及离子注入设备，涉及设备腔体挡
板、点源坩埚、线源坩埚、Open mask 等约 900 款零部件产品。
2、精密洗净衍生增值服务
（1）氧化加工服务
氧化加工服务是为半导体和显示面板行业的干刻刻蚀设备零部件提供表面阳极氧化加工处理，以抵抗刻蚀过程中机台刻蚀气体的腐蚀，保护腔体核心部件，减少刻蚀副产物的污染。
公司氧化加工服务覆盖了显示面板 G4.5/G5.5/G6/G8.5/G10.5 代次的干刻设备以及半导体部分干刻设备，涉及设备
的腔体挡板、上部电极、下部电极等约 1,200 款零部件。
（2）陶瓷熔射服务
在半导体和显示面板制造过程中，强烈的等离子冲蚀和化学腐蚀会造成制造设备的性能降低，同时造成设备的频繁维护和产品良率的降低。高纯耐腐蚀陶瓷涂层作为保护层在刻蚀设备中具有广泛的应用，特别是半导体、 TFT 行业制程不断提高的过程中，对耐腐蚀涂层的要求越来越高，应用范围也越来越大。
公司陶瓷熔射服务产品包括：半导体刻蚀腔体内衬、钟罩、静电吸盘、气体分配盘等关键零部件，TFT 刻蚀腔体中
的陶瓷板、内壁板、上部电极、下部电极等重要零部件，在 PVD、CVD 的腔体中，也有少量的应用。
（3）半导体设备维修服务
公司报告期内所提供的半导体设备维修服务，主要包括 HS 翻新服务（主要是为 CMP 设备研磨头进行清洗、配件更换
维修再生服务）和 ALN 加热器陶瓷部件高精密修复业务。
CMP 设备是半导体行业化学机械抛光装置的缩写，其研磨头主要起到固定晶圆硅片的作用，抛光时，晶圆硅片吸附
在研磨头下方，旋转的研磨头以一定的压力在旋转的抛光垫上，由亚微米或纳米磨料和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间研磨抛光。随着 CMP 研磨头耗材使用寿命的增加，CMP 的研磨速率、研磨均匀度等参数都会发生变化，故需定时对研磨头的耗材进行更换维修及清洗。
ALN 加热器陶瓷部件高精密修复业务：ALN 加热器是半导体芯片制造过程中 CVD 制程内的关键设备，主要用于给 CVD
气体加热。使用过程中晶圆放置在加热器的表面，通过加热器对晶圆进行加热，CVD 气体进入腔体内后，在晶圆表面加热后发生反应形成薄膜沉积在晶圆表面。而 ALN 加热器作为高价值配件使用一段时间就需要进行一定维修才能继续使用。维修的内容主要包括再造加热器表面微米级的轮廓形貌，真空焊接恢复电容电阻，以及陶瓷柱及晶圆承载面的升级和更换。
3、公司主要经营模式
（1）盈利模式
公司专注于为半导体及显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净和衍生服务，
